X-ray 형광분석기는 X-선 또는 Y-선을 이용하여 분석대상 물질 안에서 방출되는 독특한 엑스레이의 스펙트럼을
측정하여 반도체 검출기로 화학성분을 분석하는 방법으로 중공업,석유화학, 항공우주 등 광범위하게 적용된다.